MEMS Silicon Dies-Serie
- Piezoresistiver MEMS-Drucksensor mit extrem niedrigem Druck
- Druckbereiche von 0,15 psi, 0,3 psi & 1 psi
- Einschränkung des Manometers
- Temperaturbereich -40°C bis +150°C
- Skalenendwerte von 30mV bis 60mV (bei 5V Erregung)
- Impedanz von 5kΩ (typisch)
- Geeignet für saubere, trockene Luft und nicht-korrosive Gase