Die piezoresistiven Silizium-MEMS-Drucksensoren der Serie L von Merit Sensor^TM eignen sich ideal für Ultra-Niederdruckanwendungen und bieten Druckbereiche von 0,15 bis 1psi (1 bis 6,89 kPa 10 bis 68,95 mbar). Die Sensoren verwenden eine piezoresistive Wheatstone-Brücke in einem Design, das Glas anodisch mit einer chemisch geätzten Siliziummembran verbindet. Die Produkte von Merit Sensor basieren auf der firmeneigenen Sentium®-Technologie, die für einen außergewöhnlichen Betriebstemperaturbereich von -40°C bis +150°C entwickelt wurde und dennoch eine hervorragende Stabilität aufweist. Die L-Serie bietet Ausgangsbereiche von 30mV bis 60mv (bei 5V Erregung, je nach Druckbereich), wobei weitere Ausgänge auf Anfrage erhältlich sind.

• Piezoresistiver MEMS-Drucksensor mit extrem niedrigem Druck
• Druckbereiche von 0,15 psi, 0,3 psi & 1 psi
• Einschränkung des Manometers (R)
• Temperaturbereich -40°C bis +150°C
• Skalenendwerte von 30mV bis 60mV (bei 5V Erregung)
• Impedanz von 5kΩ (typisch)
• Geeignet für saubere, trockene Luft und nicht-korrosive Gase
• Gesägter Wafer auf Band in Metallrahmen (T)
• Brückenoptionen: offen oder geschlossen
• U.S. Patent Nummer 7,290,453

Typische Anwendungen für die Merit Sensor^TM L-Serie sind:

• Luft/Nicht-aggressive Gase Druck/Differential
• Leistungsstarke ölgefüllte Messwandler
• Leistungsstarke rückseitig verpackte Module
• Low-Level-Überwachung
• Reinräume, Gebäudeautomation, HVAC, Luftströmung
• Öl, Gas, Kraftstoff, Klimagase und Wasser

Merit Sensor Systems, Inc. arbeitet mit Rhopoint und seinen Kunden zusammen, um zuverlässige, kosteneffiziente piezoresistive Drucksensorlösungen für Anwendungen in den Bereichen Automobil, Medizin, Industrie, Luftfahrt, Verteidigung und Konsumgüter zu entwickeln, zu fertigen, zu montieren und zu verpacken. Bitte besuchen Sie https://meritsensor.com/  für weitere Informationen.